ï»?!DOCTYPE html> 探针台如何维护保å…?- 北京蓝æ“v¿U‘äÈA仪器有限公司

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探针台如何维护保å…?br /> 探针åîC¸»è¦åº”用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的‹¹‹è¯•ã€?òq¿æ³›åº”用于复杂、高速器件的¾_‘Ö¯†ç”‰|°”‹¹‹é‡çš„研发,旨在¼‹®ä¿è´¨é‡åŠå¯é æ€§ï¼Œòq¶ç¾ƒå‡ç ”发时间和器äšg刉™€ å·¥è‰ºçš„成本ã€?br /> ¾l´æŠ¤

探针‹¹‹è¯•å°x-y工作台的分类

¾Uµè§‚国内外的自动探针‹¹‹è¯•å°åœ¨åŠŸèƒ½åŠç»„成上大同ž®å¼‚åQŒå³ä¸»è¦ç”±x-y向工作台åQŒå¯¾~–程承片台、探å?探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等¾l„成åQŒåƈ配有与测试äÈA(TESTER)相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可äؓ两大¾c»ï¼Œå?以美国EG公司ä¸ÞZ»£è¡¨çš„òq³é¢ç”‰|œºåž‹x-y工作å?又叫¼‚æ€§æ°”‹¹®å·¥ä½œå°)自动探针‹¹‹è¯•å°å’Œä»¥æ—¥æœ¬åŠ‹Æ§æ´²å›½å®¶ç”Ÿäñ”的采用精密滚珠丝杠副和直¾U¿å¯¼è½¨ç»“æž„çš„x-y工作台型自动探针‹¹‹è¯•å°ã€‚由于x-y工作台的¾l“构差别很大åQŒæ‰€ä»¥å…¶ä½¿ç”¨¾l´æŠ¤ä¿å…»ä¸å¯ä¸€æ¦‚而论åQŒåº”区别对待ã€?br /> x-y工作台的¾l´æŠ¤ä¸Žä¿å…?br /> 无论是全自动探针‹¹‹è¯•å°è¿˜æ˜¯è‡ªåŠ¨æŽ¢é’ˆæµ‹è¯•å°åQŒx-y向工作台都是其zui核心的部分。有数据表明探针‹¹‹è¯•å°çš„故障中有半数以上是x-y工作台的故障åQŒè€Œå·¥ä½œå°æ•…障有许多是对其¾l´æŠ¤ä¿å…»ä¸å½“或盲目调整造成的,所以对工作台的¾l´æŠ¤ä¸Žä¿å…Õd°±æ˜‘Ö¾—ž®¤äؓ重要。本文仅对自动探针测试台x-y工作台的¾l´æŠ¤ä¸Žä¿å…ÖM½œä¸€ä»‹ç»ã€?br /> 2.1 òq³é¢ç”‰|œºx-y步进工作台的¾l´æŠ¤ä¸Žä¿å…?br /> òq³é¢ç”‰|œºç”±å®šå­å’ŒåŠ¨å­¾l„成åQŒå®ƒå’Œä¼ ¾lŸçš„步进甉|œºç›¸æ¯”其特ŒDŠæ€§å°±æ˜¯å°†å®šå­å±•å¼€åQŒå®šå­æ˜¯åŸºç¡€òq›_°åQ?动子和定子间有一层气垫,动子‹¹®äºŽæ°”垫上,而可¾~–程承片台则安装在动子之上。这¿Uç»“æž„çš„x-y工作収ͼŒç”׃ºŽåŠ¨å­å’Œå®šå­é—´æ— ç›¸å¯ÒŽ‘©æ“¦æ•…无磨损,使用寿命é•Ñ€?br /> 而定子在加工˜q‡ç¨‹ä¸­ç”Ÿäº§åŽ‚家根据不同的设计要求如分辨力½{‰ï¼Œç”¨æœºåŠ å·¥çš„方法在一òq³é¢çš„铁刉™“¸ä»¶ä¸ŠåŠ å·¥å‡ø™‹¥òq²ä¸ª¾U¿æ§½åQŒçº¿æ§½é—´çš„距¼›Õd³¿UîCؓòq³é¢ç”‰|œºçš„é‹É距,而定子则按不同的¾l†åˆ†æŽ§åˆ¶æ–¹å¼åQŒæŒ‰¾~–制好的˜qè¡Œ½E‹åºå€ŸåŠ©äºŽåã^面定子和动子之间的气垫才能实现步˜q›è¿åŠ¨ã€‚对定子的损伤将直接影响工作台的步进¾_‘Öº¦åŠè®¾å¤‡ä‹É用寿命,损坏严重ž®†é€ æˆè®‘Ö¤‡æ— æ³•ä½¿ç”¨è€ŒæŠ¥åºŸã€?br /> ç”׃ºŽòq³é¢ç”‰|œºçš„定子及动子是完全暴露在½Iºæ°”中,所以潮湿的环境及长时期保养不当ž®†å¾ˆå®ÒŽ˜“使定子发生锈蚀现象åQŒå¦å¤–重物的¼„°æ’žåŠåšé”å™¨ç‰©çš„划伤都将对定子造成损伤åQŒè€Œåª„响åã^面电机的步进¾_‘Öº¦åŠä‹É用寿命,对于已生锈的定子可以用天然æÑa矌™½»è½Õdœ°å‘一个方向打¼‚¨å®šå­çš„表面åQŒç„¶åŽç”¨è„Þp„‚‹‚‰çƒè˜¸ç…¤æ²ÒŽ¸…‹z—,整个˜q‡ç¨‹æ“ä½œè¦ååˆ†åœ°¾l†å¿ƒåQŒä¸å¯ä‹É定子表面出现凹凸不åã^的现象。另外也可用没有腐蚀性,不损坏定子的除锈剂除锈。对于正常情况下的定子则要定期作除尘清理工作åQŒæ¸…理时应先通入大气以便动子¿UÕdŠ¨åQŒæ–¹æ³•æ˜¯ç”¨è„±è„‚棉蘸少许大äº?5%的无水乙醇,è½ÀL“¦å®šå­è¡¨é¢åQŒç„¶åŽç”¨ä¸“用工具撬è“v动子åQŒæ–¹æ³•åŒå‰ï¼Œ è½ÀL“¦åŠ¨å­è¡¨é¢åQŒåŠ¨å­çš„表面有若òq²ä¸ªæ°”å­”åQŒå®ƒæ˜¯å®šå­å’ŒåŠ¨å­é—´åŽ‹¾~©ç©ºæ°”的出孔åQŒè§‚察这此气孔的放气是否均匀åQŒå¦åˆ™ç”¨å·¥å…·ž®å¿ƒæ—‹å¼€ž®å­”中内嵌气孔螺母检查是否有杂质堵塞气孔åQŒå¤„理完毕后应恢复内嵌气孔螺母原始状态。需要特别注意的是在未加压羃½Iºæ°”时不可强行拉动动子,以免造成定子及动子的损伤。åã^面电机应使用在环境温åº?5~25 ℃,相对湿度ž®äºŽ50%的环境中åQŒå…¶æ‰€éœ€çš„压¾~©ç©ºæ°”å¿…™åȝ»˜q‡å¹²ç‡¥è¿‡æ»¤å¤„理且与环境空气温度差值小äº? ℃,气压ä¸?.4ûu0.04MPaã€?br />

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